R-14（CF4、四氟化碳、四氟甲烷、氟利昂-14、Freon 14、PFC-14、FC-14、R14）
| 冷媒名称 | R-14 | 冷媒名称 | R-14 |
| 沸点（1atm），℃ | -128.1 | 破坏臭氧潜能值（ODP） | 0 |
| 饱和蒸气压（-150.7℃），kPa | 13.33 | 全球变暖潜能值(GWP，100 yr) | 5700 |
| 临界温度，℃ | -45.6 | 燃烧 | 不可燃 |
| 临界压力，MPa | 3.75 | ASHRAE安全级别 | A1（无毒不可燃） |
| 主要应用 | |||
| R14主要用于超低温（深冷）复叠式制冷设备中，R14也是低温配合冷媒的重要组分；四氟化碳（别名：四氟甲烷，全氟甲烷、氟碳14、carbon tetrafluoride、tetrafluoromethane、halocarbon 14、CF4、PFC-14）是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 | |||
| 包装规格 | |||
| 钢瓶包装，6.5kg/瓶，27kg/瓶。 | |||
R-116（C2F6、六氟乙烷、全氟乙烷、氟利昂-116、Freon 116、PFC-116、FC-116、R116）
| 冷媒名称 | R-116 | 冷媒名称 | R-116 |
| 沸点（1atm），℃ | -78.2 | 破坏臭氧潜能值（ODP） | 0 |
| 饱和蒸气压（20℃），kPa | 2884 | 全球变暖潜能值(GWP，100 yr) | 11900 |
| 临界温度，℃ | 19.9 | 燃烧 | 不可燃 |
| 临界压力，MPa | 3.04 | ASHRAE安全级别 | A1（无毒不可燃） |
| 主要应用 | |||
| R116是一种特种低温制冷剂，通常作为一种组分用于混配低温混合冷媒；六氟乙烷（别名：全氟乙烷、氟碳116、perfluoroethane、hexafluoroethane、halocarbon 116、C2F6、FC-116）主要用作气体电介质和制造集成电路的干腐蚀剂。 | |||
| 包装规格 | |||
| 钢瓶包装，5kg/瓶，30kg/瓶。 | |||
R-218（C3F8、八氟丙烷，全氟丙烷、氟利昂-218、Freon 218、PFC-218、FC-218、R218）
| 冷媒名称 | R-218 | 冷媒名称 | R-218 |
| 沸点（1atm），℃ | -36.6 | 破坏臭氧潜能值（ODP） | 0 |
| 饱和蒸气压（20℃），kPa | 全球变暖潜能值(GWP，100 yr) | 8600 | |
| 临界温度，℃ | 71.9 | 燃烧 | 不可燃 |
| 临界压力，MPa | 2.68 | ASHRAE安全级别 | A1（无毒不可燃） |
| 主要应用 | |||
| R218是一种特种低温制冷剂，通常作为一种组分用于混配低温混合冷媒；八氟丙烷（别名：全氟丙烷， 化学式C3F8，英文名octafluoropropane、perfluoropropane、 Halocarbon 218、FC-218）主要应用于微电子工业中等离子蚀刻，以及器件表面清洗、碳同位素分离工质、医疗用气、气体绝缘等。 | |||
| 包装规格 | |||
| 钢瓶包装，5kg/瓶，35kg/瓶。 | |||
